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中微力合取得碳化硅晶圓減薄砂輪及其制備方法專利:砂輪
國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，東莞市中微力合半導(dǎo)體科技有限公司取得一項名為“一種碳化硅晶圓減薄砂輪及其制備方法”的專利，授權(quán)公告號CN119369310B，申請日期為2024年10月砂輪。天眼查資料顯
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